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這篇文章幫助你了解CVD管式爐的產(chǎn)品特點(diǎn)以及注意事項(xiàng)

時(shí)間:2024-10-22點(diǎn)擊次數(shù):3695
  CVD管式爐由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成,大溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
 
  CVD管式爐產(chǎn)品特點(diǎn):
 
  1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。
 
  2、氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司知識產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性。
 
  3、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。

CVD管式爐

  CVD管式爐使用注意事項(xiàng):
 
  1、冷爐使用時(shí),由于管式爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升溫速率差別不易太大,設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,污染爐管。
 
  2、定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
 
  3、使用或長時(shí)間不用后,要在120℃左右烘烤1小時(shí),在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內(nèi)的清潔。
 
  4、爐膛若采用石英管,當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),石英管的高溫部分會出現(xiàn)不透明現(xiàn)象,這叫失透是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷,屬正?,F(xiàn)象。

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